技術(shù)參數(shù)：
1.采用高精度大理石臺面，臺面精度0.002mm、等級00級、線膨脹系數(shù)4.61*10-6/℃。耐酸堿、不磁化、不變形、高耐磨。
2.采用上銀直線導(dǎo)軌模組KA200-10P-1250精密導(dǎo)軌，運動重復(fù)精度0.02mm。
3.采用上銀D2 17bit驅(qū)動器，可編程控制行走機構(gòu)的位置、速度、行程、極限等，使得檢測具有高度自動化。
4.采用精度1um的光柵尺作為檢測參考傳感器，保證高精度檢測。
5.整個檢測臺檢測精度達(dá)到±20um，具有鑒定機構(gòu)的檢測報告。
6.可檢測傳感器行程0-1250mm，可檢測多種類型的直線位移傳感器。
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